采用 PVD 的光學鍍膜
對于光學鍍膜而言，需要將許多薄層相結合以創造各種反射特性或層來提高光導性。這些層通常應用于批量鍍膜系統中的稱為“物理氣相沉積”(PVD) 的工藝中或用于蒸發工藝中，所有這些工藝都是在壓力范圍為 10-2 至 10-3 mbar 的真空條件下進行。
光學鍍膜應用需要能夠在真空室內將期望的真空度維持在穩定的數值的精密系統。Leybold 萊寶提供這些系統所需的所有真空產品，包括：
前級泵或“前級”真空泵
在該工藝的第一階段，必須使用“粗真空”泵從真空室中清除環境氣體和濕度，以便快速抽空真空室。我們擁有多個產品系列，包括 DRYVAC、VARODRY、SCREWLINE、SOGEVAC、TRIVAC 和 RUVAC 泵，能夠滿足您的工藝的具體要求。您可以將多個系統進行組合，以獲得理想的抽取速度并降低擁有成本。
高真空抽取
在該工藝的下一步中，將工藝室抽至 5x10-6 mbar 及更低的真空度，并且需要持續使用氬氣、氮氣和氧氣等氣體使其在工作壓力范圍內保持在這一水平。某些工藝需要無油、無塵和無振動的工藝環境。在這種情況下，我們建議使用 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 或 COOLVAC 泵。對于要求不太高的工藝，擴散泵（DIJ 和 DIP）更為適合。
高真空系統需要能夠在高氣體負載下持續運行，并能長期運行。
可靠且經濟高效的裝置
Leybold 萊寶的泵專為鍍膜應用而設計，數十年來一直備受客戶青睞。經驗還告訴我們，可靠性和正常運行時間非常關鍵。因此，我們建議制定定期維護計劃和使用 OEM 備件。在您妥善保養真空系統的條件下，您還可以節省運營成本。與您當地的 Leybold 萊寶代表聯系，找出理想的解決方案，讓您的生產始終保持正常運行。
工藝控制解決方案
確保您始終可以準確地測量真空沉積工藝的真空條件。借助我們的全系列真空計，您可以確保始終能夠監控工藝的理想條件。您的 Leybold 萊寶代表將非常愿意為您提供有關理想工藝控制解決方案的建議。檢漏和 RGA（殘余氣體分析儀）系統在工藝重復性和可靠性方面發揮著至關重要的作用。
系統整合
我們的泵經過精心設計，可以出色地配合使用，但有時您的工藝需要更多的控制和監測解決方案。在這種情況下，我們會安裝支持您的生產工藝的 PLC 或控制器。
